Inert Atmosphere Ovner, også kalt anaerobe ovner, er designet for varmebehandling ved bruk av ikke-oksiderende gasser som nitrogen i et tettende miljø, det er egnet for varmebehandling under lav oksygenkonsentrasjon.
Beskrivelse
Inert Atmosphere Oven-serien brukes i halvlederproduksjon for forbehandlingsbaking av silisiumskiver, galliumarsenid, litiumniobat, glass før PR-belegg, hardfilmbaking etter PR-belegg og høytemperaturbaking etter fremkalling; Den er også egnet for produksjon og vitenskapelige forskningsavdelinger, for eksempel elektronisk flytende krystallskjerm, LCD, CMOS, IS og laboratorier; den kan også brukes til tørking, varmebehandling, aldring og andre høytemperaturtester av ikke-flyktige, ikke-brennbare og ikke-eksplosive gjenstander.
Hovedparametere
►Tekniske parametere
Kapasitet: Tilpasset i henhold til produkter
Temperaturområde: Omgivelsestemperatur +50°C ~ 250°C
Oksygeninnhold: ≤50 ppm
Temperaturuniformitet: ±2,5 %
Oppstigningshastighet: Kontrollerbar
Nitrogeninntak: Φ8
Nitrogenstrøm: 0-240L/min * 2 kanaler
►Struktur
. Innvendig ovn: Laget av rustfritt stål og sømløst sveiset med argongass.
. Hermetisk forseglet: Kammeret er forseglet for å redusere oksygennivået.
. Luftinntaksstruktur: Tillater ikke-oksiderende gasser å fylle kammeret.
. O2-analysator: Juster oksygennivåene nøyaktig mellom 0,5 ~ 21 %
► Temperaturkontrollsystem
Intelligent JAPAN RKC temperaturkontroller, programmer og innstilling av faste verdier, AT auto-tuning, offset-korreksjon og oppbevaring av strømavslåing.
► Tvunget luftkonveksjon
Den patenterte luftkanalen i varmluftssirkulasjonssystemet kan automatisk justere temperaturuniformiteten.
Funksjoner for anaerobe (inerte) ovner
► Hermetisk forseglet studio i rustfritt stål for å hindre inntrengning av ekstern atmosfære
► Bruk nitrogen inert gass for anaerob varmebehandling
► Strømningsmåler og trykkmåler er utstyrt
► Multibeskyttelsessikkerhetsanordninger
Alternativer
► PLS+7” programmerbar kontroller
► Alarm for blinkende lys i tre farger
► Overtemperaturbegrenser
► Manuelle sikkerhetsinnretninger
Hvorfor velge Inert Atmosphere Ovner?
I dag har ledningsmaterialer i kretsløp skiftet fra aluminium til kobber med lavere resistivitet. Derfor, når de varmebehandles i en vanlig tørkeovn, kan kobberdeler oksidere og forårsake defekter. I tillegg utføres det også 250 grader C aldring for å sjekke om dataene som er skrevet på flashminnet er slettet på grunn av elektromigrering, og om bumpdelene er oksidert, så oksygeninnholdet må reduseres til <100ppm. Denne anaerobe ovnen ble utviklet for å møte disse kravene.
Søknad
Inert Atmosphere Ovner brukes hovedsakelig til BPO-lim/PI-lim/BCB-limherding, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, elektroniske komponenter med høy presisjon og andre materialer i et miljø med lavt oksygen for tørking og aldringstester .
